让中国制造享誉世界
MAKE MADE IN CHINA BE FAMOUS IN THE WORLD
产品分类
激光划片机GR-410
浏览量:
产品描述
产品参数
概述
GR-410系列激光划片机，配置进口激光器，加工效率高，质量稳定， 设备简单易操作；提供传统矩形GPP晶圆的全切割/半切割划片方式， 可升级提供六边形划切（三角形切割方式）。
全系列产品分为四款设备：
GR-410和GR-410Z两款设备支持划切产品为正面沟槽去除玻璃后的 GPP产品或晶圆背面制作标记图形的产品。正面对准正面划切，不支持 底部对准功能。
GR-410D和GR-410DZ两款设备拥有独特的双光路系统，为单面光 刻晶圆提供了背面划切方案与背面打标方案。正面对准正面/背面划切， 支持底部对准功能。
性能指标
|
划切参数 |
划切对象 |
4寸至6寸GPP晶圆和硅晶圆 |
|
划切方式 |
等距矩形切割，支持三角形切割（手动对准） |
|
|
激光参数 |
光纤激光器，最大功率20W |
|
|
划切速度 |
W250mm/s |
|
|
切割精度 |
±0.003mm |
|
|
切割线宽 |
0.035-0.055mm |
|
|
切割深度 |
<0.12mm |
|
|
工作台参数 |
工作范围 |
220mm*200mm |
|
工作台分辨率 |
0.0005mm |
|
|
旋转电机行程 |
360° 185° |
|
|
旋转电机定位精度 |
30” |
|
|
Z向定位精度 |
0.01mm |
|
|
Z向激光调焦行程 |
20mm |
|
|
其他 |
自动对位范围 |
35mil-305mil |
|
自动对位精度 |
0.01mm |
|
|
外形尺寸 (WxDxH) mm |
GR-410/GR-410D |
760x1165x1650 |
|
GR-410Z/GR-410DZ |
940x1165x1650 |
|
|
设备重重kg |
GR-410/GR-410D |
750 |
|
GR-410Z/GR-410DZ |
800 |
产品特色
●底部对准
●背面打标
●自动上下料
●自动对位
全自动划片机GR-6100
下一篇
联系我们
地址：深圳市宝安区新桥街道恒昌荣高新产业园2栋
全球服务热线：400-1788-168